我國監察制度起源甚早，迄今已有2000餘年之歷史。
按中國監察制度始建於秦（西元前246年至206年）、漢（西元前206年至西元220年）時代，當時由御史府（台）掌管監察工作，漢武帝時增置丞相司直及司隸校尉，同司糾察之任，並設13部刺史分察地方。
東漢光武帝（西元22年至57年）因襲前制，惟以司隸校尉及12部刺史分察地方。
魏（西元220年至265年）、晉（西元265年至420年）以後，略有變革。
隋（西元581年至618年）、唐（西元618年至904年）以來，分置「台」「諫」2職，御史台主監察文武官吏，諫官主諫正國家帝王，並仿漢代刺史之制，分全國為15道，派使巡察地方。
宋（西元960年至1279年）初仍因唐制，惟中葉以來，台臣與諫官之職掌，逐漸不分。肇元代（西元1279年至1368年）以後，「台」「諫」合一之端。 至明（西元1368年至1664年）、清（西元1664年至1911年）兩代，以都察院掌風憲，對地方監察益趨周密，從13道監察御史，增為15道，清末復按省分道，增為20道，明奏密劾，揚善除奸，充分發揮整飭綱紀之功效。
國父孫中山先生領導中國革命，倡行「五權憲法」，擷取歐美三權分立制度，與中國御史諫官制度及考試制度之優點，於行政、立法、司法三權之外，另增監察、考試兩權。民國（下同）成立，北京政府仍照歐美三權分立原則，以彈劾權屬諸國會。17年北伐完成，全國統一，國民政府始實行五權分治。17年2月設審計院，20年2月成立監察院，並將審計院撤銷，依法改部，隸屬監察院，此為國民政府最高監察機關，行使彈劾及審計權，26年對日抗戰後，復行使糾舉及建議二權。
中華民國憲法於36年（西元1947年）12月25日施行，依憲法規定，由各省市議會、蒙古西藏地方議會及華僑團體選舉出第1屆監察委員，並於37年6月5日正式成立行憲後之監察院。
行憲之初，監察院在各地區原分設有各區監察委員行署，大陸撤退後，均已暫行裁撤。
81年5月第2屆國民大會通過憲法增修條文，規定監察院設監察委員29人，並以其中1人為院長、1人為副院長，任期6年，由總統提名，經國民大會同意任命之，使得監察委員不再由地方議會及華僑團體選舉產生。第2屆監察委員依此一規定，由總統提名，經國民大會同意任命後，自82年2月1日開始行使職權。第3屆仍照第2屆方式辦理。89年4月第3屆國民大會第5次會議再次修正憲法增修條文，將監察院監察委員、院長、副院長任命之同意權，移立法院立法委員行使，亦即由總統提名，經立法院同意任命之，監察院監察委員自第4屆起，即依此一規定產生。